光刻机属不属于机械设计制造及其自动化专业领域

光刻机属于机械设计制造及其自动化专业领域。光刻机是半导体制造过程中的关键设备，用于将电路图案转移到硅片上。它集成了精密机械、光学、电子、计算机控制等多个领域的先进技术。

机械设计制造及其自动化专业主要研究机械系统的设计、制造、控制以及自动化技术。光刻机的设计与制造需要运用该专业的知识，包括：

1. 精密机械设计：光刻机的机械结构设计要求高精度和高稳定性。

2. 光学系统设计：光刻机中的光学系统需要精确控制光线的路径和强度。

3. 自动化控制：光刻机的运动控制、曝光控制等都需要高度自动化。

4. 电子技术：光刻机中的电子系统负责信号处理、数据传输等。

因此，光刻机的设计与制造与机械设计制造及其自动化专业紧密相关。